Manufacturing technology, optical and spectral properties of nano-structurized thin ZnO films

摘要

Dependence of cathodoluminescence parameters on the annealing temperature and RF ion etching has been studied for nano-structurized thin zinc oxide films obtained by RF magnetron reactive sputtering. The film structure has been characterized by X-ray diffraction. Thermal annealing and RF ion etching have been found to increase the cathodoluminescence intensity, mainly due to enlargement of the nanocrystallite mean size.%Исследована зависимость параметров катодолюминесценции наноструктурирован-ных тонких пленок оксида цинка, полученных методом ВЧ-магнетронного реактивного распыления, от температуры отжига и обработки ВЧ-ионным травлением. Методом рентгеноструктурного анализа исследована структура пленок. Установлено, что термический отжиг и ВЧ-ионное травление обеспечивают усиление интенсивности катодолюминесценции, главным образом, за счет увеличения средних размеров кристаллитов.