超臨界流体を用いた薄膜堆積•微細埋め込みと関連技術

摘要

超臨界CO_2流体は，溶媒能や表面張力ゼロという特徴をもつ高圧流体である。ナノ浸透性を有し，拡散で物質輸送する能力が高い。本稿ではさまざまな超高アスペクト構造内に充填•被覆できる，「超臨界流体中薄膜堆積法」について紹介する。超臨界CO_2流体の もつ特異な物理化学的性質により，気体や液体のプロセスのもつ限界を凌駕できる有望技術である。