非破壊検査用X線CT画像の3次元再構成法

摘要

現在、X線CTは医療の分野だけでなく工業の分野でも利rn用されている。工業分野における主な使用方法としては、製rn品に組み込まれるICチップや回路基板などの欠陥を非破壊rn検査するという用途である。家電製品や工業用製品の小型化rnへの要求が、内部部品の小型化を急速に推し進めている。まrnた、小型化に伴い各部品がパッケージ化され、内部を目視でrn見ることができなくなった。