Mikrostrukturierung mit Drahtläppmaschine

摘要

Für die Mikrorillenstruktu-rierung der Oberflächen von Silizium, Glas und anderen spröden Werkstoffen bietet sich die Bearbeitung mit der Drahtläppmaschine als neues, effizientes Verfahren an. Bei der Herstellung von Submikro-meter-Strukturen für preiswerte und hocheffiziente Siliziumsolarzellen hat sich das Drahtläppen bereits bewährt.%A novel method for surface-micro-grooving of brittle materials demonstrated for thin silicon wafers is presented. For this purpose the parallel wire web of a modified wire lapping machine (>wire saw<) is used. This method has already been successfully applied for submicron structures for cost-effective high efficiency silicon solar cells.