Hochgenaue Zentrierung von Mikrolinsen

摘要

Die Kontrolle des Zentrierzustands von Linsen erfolgt in der Regel durch die Messung der Ablenkung eines Lichtflecks auf einem Quadranten-Detektor, während sich die Linse mit der Spindel dreht. Die Kombination von Zentrier-Inter-feromethe mit hochgenauen Manipulatoren zur Feinstpositionierung verspricht nun die Steigerung der Zentriergenauigkeit und Einstellgeschwindigkeit an Mikrooptiken. Ziel ist die Zentrierung ohne Drehung.%A novel method and apparatus are described for the measurement of angular deflection of laser light as typically occurs in centering of optical components by either transmission or reflection of a laser beam. The novel process eventually results in centering without rotating the components, reducing need for rotation to occasional calibration.