机译:基于支持向量机的基于样条回归的特征提取用于半导体工艺故障检测
Graduate School of Information Management and Security. Korea University. Anam-dong, Seongbuk-gu, 136-701 Seoul. Republic of Korea;
Department of Systems Management Engineering, Inje University, Gimhae, Gyeongnam 621-749, Republic of Korea;
Division of Information Management Engineering, Korea University, Anam-dong. Seongbuk-gu, 136-701 Seoul. Republic of Korea;
Division of Information Management Engineering, Korea University, Anam-dong. Seongbuk-gu, 136-701 Seoul. Republic of Korea;
fault detection; feature extraction; spline regression; support vector machine; semiconductor manufacturing;
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