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机译:激光诱导应力波测温技术在硅片加工中的应用:建模与实验
Photomechanics Laboratories Mechanical Engineering Department Texas AM University College Station;
Photomechanics Laboratories Mechanical Engineering Department Texas AM University College Station;
Photomechanics Laboratories Mechanical Engineering Department Texas AM University College Station;
TAP-NDE; ultrasonic lamb waves; RTP; fiber tip interferometry; wavelet transform;
机译:激光诱导应力波测温技术在硅片加工中的应用:建模与实验
机译:激光诱导应力波测温法对单晶硅晶片的原位温度和厚度进行表征第二部分-实验结果
机译:用于单晶硅晶片的原位温度和厚度表征的激光诱导应力波测温法:第一部分-理论和设备
机译:激光诱导应力波温的分析可行性应用于硅晶片
机译:硅晶片上溅射的硅化钨/硅多层薄膜的原位曲率和应力分析。
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机译:在二氧化硅晶片的水热加工中形成有活力的核和颗粒生长:入口效应的模拟研究