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New Microelectronic Engineering Study Findings Have Been Reported from University of Oulu

机译:奥卢大学报道了新的微电子工程研究发现

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2011 MAR 9 - (VerticalNews.com) -- According to a study from Oulu, Finland, "Inrnthis paper we introduce a fabrication process for polymer rib waveguides that uses UV-imprintrnlithography. In the structure of an inverted-rib waveguide, the lower cladding of the waveguidernis patterned by UV-imprinting and the waveguiding layer is subsequently spin-coated."
机译:2011年3月9日-(VerticalNews.com)-根据芬兰奥卢的研究,“ Inrn这篇论文介绍了采用UV压印技术的聚合物肋形波导的制造工艺。在倒肋式波导的结构中,下部通过紫外线压印形成图案的波导的包层和波导层随后被旋涂。”

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