Qualitätssicherung durch quantitative Restgasanalyse in Vakuumschaltkammern

摘要

Vakuumleistungsschalter sind zuverlässig, universell ersetzbar, wartungsarm und umweltverträglich wie kein anderer Leistungsschalter. Um Spitzenqualität liefern zu können, werden ihre Schaltkammern aus hochwertigen Materialien unter Anwendung modernster Technologien hergestellt. Die Qualitätssicherung erfordert dabei den Einsatz wissenschaftlicher Methoden auf höchstem technischen Niveau; denn das Führen und Unterbrechen von Strömen bis 50 kA bei Nennspannungen bis 52 kV stellt außerordentlich hohe Ansprüche an das kompakte Schaltelement Vakuumkammer. Hauptkriterium ist die Aufrechterhaltung des Ultrahochvakuums in der Schaltkammer während der gesamten Lebensdauer von mindestens 30 Jahren. Dazu tragen die Restgasanalyse und die damit verbundenen Untersuchungen zur Gasdiffusion, zu inneren Gasquellen und der massenspektrometischen Erfassung des Restgases in der Vaku-umschaltkammer wesentlich bei.