Kształtowanie rozkładu energii na powierzchni tygla przez padająca wiązkę elektronów odchylaną pod dużymi kątami w urządzeniu EB PVD

摘要

The article presents the method of electron beam energy distribution in EB PVD devices deflected in large angles relative to the electron gun axis directed at a crucible matrix from which the material is evaporated. The uniform energy distribution of EB is the essential condition of high quality surface layer deposited by this method.%W pracy przedstawiono sposób kształtowania energii wiązki elektronów (WE) w urządzeniach EB PVD, odchylanej pod dużymi kątami od osi wyrzutni w kierunku zestawu tygli, z których parowany jest materiał. Równomierny rozkład energii WE jest warunkiem otrzymywania tą metodą warstw powierzchniowych wysokiej jakości.