Materiały grubowarstwowe dla technologii hybrydowych - stan obecny i perspektywy rozwoju

摘要

Przedstawiono przegląd materiałów grubowarstwowych oraz ich zastosowań w mikroelektronice hybrydowej. Na tym tle pokazano najnowsze osiągnięcia w opracowywaniu technologii materiałów grubowarstwowych w Instytucie Technologii Materiałów Elektronicznych. Omówiono również kierunki rozwoju i czynniki stymulujące postęp w dziedzinie materiałów grubowarstwowych.