Mikroreaktor do prowadzenia reakcji nitrowania z wielopunktowym pomiarem ciśnienia i temperatury

摘要

Przedstawiono mikroreaktor szklano - krzemowy do prowadzenia reakcji nitrowania węglowodorów z równoczesnym, wielopunktowym pomiarem ciśnienia i temperatury. Krzemowe mikroczujniki zintegrowane, spojono z chipem mikroreaktora metodą bondingu anodowego tak, że zapewniono absolutną szczelność połączenia, wysoką odporność na oddziaływanie stężonych i gorących kwasów siarkowego i azotowego oraz minimalną objętość martwą zestawu czujników. Mikroreaktor wyposażono w sześć czujników ciśnienia na zakres do 600 kPa i sześć czujników temperatury (-10... +50℃). Testy wykazały doskonałą pracę systemu czujników, umożliwiającą ocenę statyczną i dynamiczną stanów hydropneumatycznych i cieplnych wewnątrz pracującego mikroreaktora. Według najlepszej wiedzy autorów, jest to pierwsze tego typu rozwiązanie spełniające wymagania dla tego typu mikroreaktorów.