Aplikacje medyczne super szybkich pomiarów wilgotności oparte na technologii MEMS

摘要

W artykule przedstawiono zasadę pracy, konstrukcję i technologię wykonania miernika wilgotności powietrza - higrometru punktu rosy z detektorem typu MEMS. Zastosowanie tego typu detektora i oryginalnej koncepcji osiągania zadanej temperatury detektora z dużą dynamiką poprzez wstrzykiwanie ciepła zamiast chłodzenia, pozwoliło na pomiar szybko zmiennej wilgotności 5...6 razy na sekundę. Osiągniecie tych unikalnych parametrów w dziedzinie pomiarów wilgotności pozwoliło na zastosowanie tego typu higrometru do pomiaru wilgotności w nosie i gardle pacjentów w trakcie oddychania oraz w dermatologii do pomiaru parametrów skóry człowieka (tzw. współczynnika TEWL).