Wytwarzanie miniaturowych sensorów elektrochemicznych i matryc sensorów na podłożu krzemowym

摘要

Three types of voltamperometric chemical sensors have been developed on mono-Si substrates. A process of fabrication is described in the paper. Au and AgCI surface SEM examination together with sensor chip images are presented. Chips have been electrochemically characterized in redox tests.%Opracowane zostały trzy rodzaje sensorów woltamperometrycznych na podłożach mono-Si. W pracy opisano proces technologiczny ich wytwa-rzania. Zaprezentowano zdjęcia skaningowe powierzchni Au i AgCI oraz zdjęcia struktur sensorowych. Struktury zostały scharakteryzowane elek-trochemicznie w testach redoks.