Trawienie włókien światłowodowych w celu odsłonięcia rdzenia do zastosowania w bioczujnikach z wykorzystaniem modów galerii szeptów

摘要

In this paper repeatable and effective process of exposed-core optical fibers manufacturing using chemical wet etching in hydrofluoric acid was presented. The way of waveguides preparation was shown. For fiber positioning the silicon optical microbench with positioning V-shaped rows was designed and fabricated. The paper includes the description of the set-up consisting the process control system based on etched-fiber optical power measurement.%W pracy przedstawiono powtarzalną, efektywną metodę przygotowania włókien z odsłoniętym rdzeniem z zastosowaniem chemicznego, mokrego trawienia w kwasie fluorowodorowym dla wysokorozdzielczych bioczujników optoelektronicznych. Pokazano proces przygotowania światłowodu, przedstawiono zaprojektowaną i wykonaną w tym celu celkę ze zintegrowaną mikroławą do ułożenia trawionego falowodu (V-rowki). Opisano konstrukcję stanowiska z układem kontroli przebiegu procesu przez pomiar mocy optycznej transmitowanej przez trawione włókno.