Zuverlässiger Femtosekundenlaser für die Mikroelektronikfertigung

摘要

Der neue Monaco von Coherent ist ein komplett neu entwickelter Femtosekundenlaser, der sich durch flexible Performance und hohe Zuverlässigkeit bei günstigem Preis auszeichnet. Der Laser ist ein geschlossenes One-Box-System mit einem 1035 nm-Solid-State-Oszillator und einem Verstärker für 40 μJ Pulsenergie bei einer Wiederholrate von 1 MHz (40 W Durchschnittsleistung) und Pulsweiten unter 400fs. Um die Leistung an die jeweilige Anwendung anzupassen, kann der Monaco im gesamten Bereich von Single Shot bis zur vollen Wiederholrate betrieben und sogar auf Pulsbreiten ＞10ps eingestellt werden.