Weißlichtinterferometer mit hoher lateraler Auflösung

摘要

Die Miniaturisierung steigert die Nachfrage nach Messungen von Strukturdetails. Polytec hat deshalb das Angebot an Weißlichtinterferometern um zwei mikroskopbasierte Ausführungen erweitert, die das vorhandene Mikroskopsystem TopMap u.Lab ablösen. Sie bieten eine deutlich höhere Anzahl an Messpunkten in x- und y-Richtung und das dank spezieller Scanning-Technologie (Continous Scanning Technology) über den gesamten vertikalen Messbereich von 100mm, statt nur über 250um.