Vollständig integriertes Vierleiter-Temperaturmesssystem

摘要

Prozesse zur Herstellung verschiedener Güter benötigen hochpräzise und zuverlässige Temperaturmesstechniken. Die Messung der Temperatur findet dabei oft direkt statt. Hierzu eignen sich neben Thermistoren und Thermoelementen insbesondere Widerstandsthermometer (engl. Resistance Temperature Detector - RTD), da sie schnelle Reaktionszeiten sowie eine höhere Empfindlichkeit bis zu einigen hundert μV/°C aufweisen.