Temperature-compensated BAW orientations over 500°C on LGT for frequency control and sensor applications

Davulis P.; da Cunha M.P.

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Temperature-compensated BAW orientations over 500°C on LGT for frequency control and sensor applications

机译：LGT上温度补偿的BAW取向超过500°C，用于频率控制和传感器应用

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Recently extracted langatate (LGT) elastic, piezoelectric and dielectric constants up to 900°C were utilised to predict the temperature coefficient of frequency (TCF) of bulk acoustic wave (BAW) orientations. A range of LGT BAW orientations were identified with turnover temperatures between 100 and 550°C for use in high-temperature sensor and frequency control applications. In addition, the piezoelectric coupling of the identified orientations was investigated to determine the preferred cuts for high-temperature operation.

机译：最近提取的高达900°C的叶酸（LGT）弹性，压电和介电常数可用来预测体声波（BAW）取向的频率温度系数（TCF）。确定了一系列LGT BAW方向，其翻转温度在100至550°C之间，可用于高温传感器和频率控制应用。此外，还对确定方向的压电耦合进行了研究，以确定高温操作的首选切口。

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来源
《Electronics Letters》 |2013年第3期|p.170-171|共2页
作者
Davulis P.; da Cunha M.P.;
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作者单位

Dept. of Electr. & Comput. Eng., Univ. of Maine, Orono, ME, USA;

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收录信息
原文格式 PDF
正文语种 eng
中图分类
关键词
bulk acoustic wave devices; frequency control; permittivity; temperature sensors; LGT; bulk acoustic wave orientations; dielectric constants; extracted langatate elastic; frequency control; high-temperature sensor; piezoelectric constants; piezoelectric coupling; temperature coefficient of frequency; temperature-compensated BAW orientations; turnover temperatures;

机译：体声波器件;频率控制;介电常数温度传感器;LGT;体声波方向;介电常数提取的叶状弹性;频率控制;高温传感器压电常数压电耦合频率温度系数温度补偿的BAW方向;周转温度;

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