Das Akronym MEMS ergibt sich aus Micro Electro-Mechanical Systems; allerdings liegt noch keine genehmigte standardmässige Definition vor, wobei jedoch der Ausdruck „schlaue Sensoren" wohl die beste Bezeichnung für diese aufkommende neuen Produkttechnologien sein dürfte. MEMS gibt es in einer wachsenden Vielfalt von Formen, Funktionen und Fähigkeiten. Dieser Beitrag konzentriert sich auf MEMS für Bewegung, Neigung und Schwingung, die alle im Zuständigkeitsbereich der neuen integrierten Beschleunigungsmesser liegen, die von MEMSIC entwickelt und hergestellt werden.
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