調整工数を削減するフリップチップボンダ用高速ヒータの自動調整

摘要

フリップチップボンタなどの半導体実装装置では、生rn産タクトタイム短縮のために数百度/秒の高速な昇温rnが求められている。しかし、昇温速度が速いほど温度制rn御の難度が高く、従来の温度調節器のPIDオートチューrnニング機能（以下、AT）を適用すると、ハンチング（温度rnの揺れ）や大きなオーバシュートが生じてしまう。