ウエハの直接接合技術である原子拡散接合法の水晶デバイスへの応用に成功

摘要

京セラキンセキ（株）は、東北大学電気通信研究所の島津rn武仁准教授と共同で、ウエハの直接接合技術である原子拡rn散接合法の水晶デバイスへの応用に成功した。原子拡散接rn合法とは、ウエハや基板を接合する際、通常用いられる有rn機系接着剤を使用せずに貼り合わせることができる直接接rn合方法で島津准教授が開発した新技術。