高精細カラーフィルターの生産技術としてファイン露光システム（FES）を開発

摘要

大日本印刷（株）は、第6世代及び第8世代の既存設備を利用して、効率的に500ppiまでの高精細な中・小型向けカラーフィルタを生産する技術を開発した。 今回同社は、露光時の歪みを補正する新たな露光技術を開発したほか、独自に開発したレジスト材料樹脂や製造プロセスなどを組み合わせることにより、中・小型の高精細液晶ディスプレー向けカラーフィルタの生産を可能にするファイン露光システム（Fine Exposure System：FES）を開発した。