New Technology Flash: ニューテクノロジーフラッシュ

摘要

三菱マテリアル(株)と、(株)SCREENセミコンダクターソリューシヨンズは、微小電気機械システム(MEMS)デバイスに使われるPZT(チタン酸ジルコン酸(鉛))圧電膜について、量産技術を共同で開発した。同量産技術は、三菱マテリアルのゾルゲル薬液(PZT-N)を、SCREENセミコンダクターソリューションズの塗布·焼成装置(80EX)で用いることにより実現可能となるもの。塗布膜厚を増加し、大面積への均一な塗布および焼成を図ることで、塗布回数は従来の20～30回から10回程度へと大きく低減される。この量産技術により、塗布•焼成装置1台あたりのスループットは、1.3枚/時間から従来比で2倍以上の2.9枚/時間に向上するため、生産性の大幅な改善に繋がる。また、ウエ八サイズは、MEMS用途として最大の8インチまで対応可能となる。