X線ステレオ方式3次元X線検査装置

摘要

コンパクトでありながら、3D-X線ステレオ方式により、20層以上の多層基板やパワーデバイスの2層はhだ分離検査を実現する、コストパフォーマンスが高いオフラインX線自動検査装置。