省エネルギーに資する窒化ガリウム単結晶基板の量産法を開発

摘要

東北大学、㈱日本製鋼所、三菱ケミカル㈱は、反りがほとhどない大口径かつ高純度なGaN単結晶基板の量産を行える低圧酸性ァモノサーマル法の開発に成功した。