ALD（原子層堆積）超薄膜成膜法による資源利用の効率化

摘要

環境保全が声高に叫ばれる昨今、現代科学技術の粋を結集した半導体製造においても「環境」を無視してものづくりをすることはできない。業界の性質上、危険性のある化学薬品などを使用しなくてはならないことは昔から変わらないものの、それが外部に出ていかないようにすること、また使用量を極力低減することがより必要とされてきている。