Imagine : une lithographie électronique à 100 plaques par heure dès 2015

摘要

Lancé en juillet 2009, le programme Imagine a pour objectif la mise au point d'un équipement d'écriture directe à faisceaux d'électrons multiples, utilisable en production. Ce matériel devra donc être capable de traiter une quantité acceptable de wafers de diamètre 300 mm. En effet, le plus gros défaut de la technologie d'écriture directe réside dans sa lenteur. «Résidait» devrions-nous dire puisque le fabricant néerlandais d'équipements de production Mapper, l'un des piliers du programme Imagine avec le Leti, STMicroelectronics et TSMC, a eu l'idée de mettre en parallèle plusieurs modules élémentaires de façon à augmenter la vitesse d'écriture de l'ensemble. Grâce à l'application de ce concept, Imagine devrait pouvoir accoucher d'un appareil d'écriture directe apte à traiter 100 plaques par heure aux environs de 2015.