Die amerikanische Advanced Lithography Group (ALG), ein Konsortium, dem auch europäische Entwicklungslabors angehören, will im Laufe dieses Jahres den Prototyp eines lonenstrahl-Lithographie-Steppers fertigstellen und eine Funktions-Testreihe starten. Damit soll dann auch die Fertigung von höchstintegrierten Speicherchips bis hin zum 16-GBit-DRAM in greifbarere Nähe rücken.
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