MEMS-Technologie für Druckmessungen

摘要

Die Firma Amsys stellt mit dem AMS 5812 einen ratiometrischen Druck-Sensor vor, der mittels mikromechanischer Prozesse hergestellt wurde. Auf dem Mess-Chip sind ein I~2C-Ausgang und ein Analog-Ausgang integriert, dessen Ausgangsspannungsbereich liegt zwischen 0,5 und 4,5 V. Der Sensor wird in einem 2×4-poligen „Dual in line"-Gehäuse ausgeliefert, die Schlauchanschlüsse sind auf der Rückseite angebracht. Während des Herstellungsprozesses werden die Sensoren unter verschiedenen Drücken und Temperaturen individuell ausgemessen.