ガス給気（溶解）・脱気モジュールのバイオニア: 超純水製造の脱気に「リキセル」，液晶コーティングおよび配向膜溶液の脱気に「スーパーフォビック」

摘要

半導体製造の超純水による洗浄 に溶存酸素を取り除くことは，欠か せない技術のーつである。高性能で コンパクト，再現性が高いガス溶解・ 脱気モジュール「リキセル」は，この 分野でリーディング的な存在とな っている。