電子光学檆器による最新の觪察・分析技術

摘要

集積度が上がるにつれてより微小な構造の観察，より微小な領域の分析，より薄い膿の観察の必要性が生じている。これらの要求を満たすためには，単なる装置の分解能だけではなく，対象となる試料の構造あるいは組成を忠実に表す試料作製も必要である。ここでは電子光学機器を利用した観察・分析技術の進歩と新しい試料作製技術について述べることとする。