透明導電膜エッチング液

摘要

インジウム錫酸化物(ITO)は液晶ディスプレイをはじめとrnした画像素子の電極材料として最も代表的なものである。本稿rnでは，非晶質ITOの代表的な製品であるITO-07Nの基本的なrn性能とシュウ酸をベースとしたITOエッチング液の課題であっrnた結晶析出を改善したITO-101Nについて解説する。