大型試料用SPM「Dimension Icon」

摘要

VeecoのSPM（旧Digital Instruments）は，世界で最初に商品化された走査型プローブ顕微鏡rn（SPM）である。SPMは，これまでさまざまな経緯の中で進化して来たが，今回新たに開発されたrn「Dimension Icon」（大型試料対応SPMシステム）は，従来の設計・性能をまさに根本的に変えたrnSPMで，待望のSPMの誕生となった。その利点をこれまでの筆者の経験を踏まえて述べる。