Rotierender optischer Positions- und Winkelsensor

摘要

Zusammenfassung In dieser Arbeit wird ein Sensorprinzip vorgestellt, welches die Höhe und den Winkel des Referenzpunkts des Sensors in Bezug auf eine Laserreferenz optisch messen kann. Dies wird durch eine Zeitmessung zwischen den Laserimpulsen und einem Hallimpuls als Referenz erreicht. Es werden Hard- und Softwaremaßnahmen zur Erkennung und Unterdrückung von Störungen vorgestellt und implementiert. Mit dem Sensorprinzip kann eine Standardabweichung von 0,131 mm bei einem Messbereich von ± 92 $pm 92$  mm erreicht werden, wobei sich die Mittelwerte der unterschiedlichen Messmethoden um max. 0,393 mm unterscheiden. Bei geringer Anforderung an die Messfrequenz des Sensors können diese Werte durch Mittelwertbildung noch weiter verbessert werden.