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机译:MEMS剪应力传感器:承诺与进步
机译:用于质量和加速度检测的混合MEMS传感器和开关的动力学特性。
机译:使用MEMS加速度传感器开发安全带(BIS)系统紧急锁定装置
机译:具有旋转对称螺旋通道的双轴角度加速度传感器和MEMS压阻性悬臂
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