...
机译:通过使用H_2O_2,通过原子层沉积制备的C轴氧空位钝化ZnO的膜厚度效应
Yonsei Univ Dept Mat Sci & Engn Seoul 03722 South Korea;
Yonsei Univ Dept Mat Sci & Engn Seoul 03722 South Korea;
Yonsei Univ Dept Mat Sci & Engn Seoul 03722 South Korea;
Yonsei Univ Dept Mat Sci & Engn Seoul 03722 South Korea;
Atomic layer deposition; ZnO thin film; Oxygen precursor; Totally c-axis growth orientation; Oxygen vacancy passivation; Low surface roughness;
机译:厚度对原子层沉积制备的Al_2O_3 / ZnO纳米层压薄膜光学和形貌特性的影响
机译:通过原子层沉积在富氧条件下由原子层沉积制备的氮掺杂ZnO膜的丰富受体排放
机译:通过原子层沉积和射频溅射制备的ZnO薄膜作为薄膜晶体管的有源层
机译:基于脉冲激光器置换的纳米毒ZnO膜的原子氧传感器
机译:用原子层沉积制备的高表面积钛酸盐(Atioα3)薄膜的研究
机译:原子层沉积制备Al掺杂ZnO和ZnAl2O4薄膜的电学和光学性质
机译:使用过氧化氢原子层沉积制备的ZnO薄膜中的有效氧缺陷钝化