机译:等离子体增强化学气相沉积法沉积在圆柱形聚对苯二甲酸乙二醇酯内壁上的非晶氢化碳膜的结构和阻气性能
State Key Lab of Advanced Welding Production Technology, School of Materials Science & Engineering, Harbin Institute of Technology, Harbin 150001, China;
amorphous hydrogenated carbon film; plasma-enhanced chemical vapor; deposition; radio frequency; raman spectroscopy; uniformity;
机译:离子轰击能量通量对自由基注入等离子体增强化学气相沉积生长的化学成分对化学成分的影响和氢化非晶碳膜的结构
机译:等离子体增强化学气相沉积法沉积氢化非晶碳薄膜的光声光谱和热扩散率测量
机译:将氟掺入通过等离子体化学气相沉积法沉积的非晶氢化碳膜中:通过X射线光电子能谱和拉曼光谱研究的结构修饰
机译:通过等离子体增强的化学气相沉积沉积氢化非晶碳化硅薄膜
机译:用微波ECR等离子体反应器沉积氢化非晶碳膜的膜性能和沉积过程的研究。
机译:在Nafion负载的电化学沉积钴纳米粒子上进行等离子体增强化学气相沉积产生的金属/碳杂化纳米结构
机译:离子轰击能量通量对自由基注入等离子体增强化学气相沉积生长的化学成分对化学成分的影响和氢化非晶碳膜的结构
机译:通过等离子体增强化学气相沉积沉积的无定形碳膜作为平面化层。