机译:用金刚石磨料抛光硅片的分子动力学研究
机译:用金刚石磨料抛光硅片的分子动力学研究
机译:分子动力学模拟用激光纳米结构金刚型磨料的单晶硅的超挑机抛光研究
机译:用分子动力学模拟方法研究化学机械抛光过程中硅片材料去除机理
机译:用分子动力学模拟方法研究化学机械抛光硅片时的表面完整性
机译:氮化硅球的无粘结磁性磨料抛光(UMAP)的实验研究。
机译:用树脂粘合金刚石锯锯制线速对相变硅晶片中的相变和残余应力的影响
机译:磨料加工和抛光技术。硅晶片的化学机械抛光技术。
机译:用分子动力学模拟比较硅和金刚石晶界结构