机译:射频磁控溅射在Si(001)上沉积的非晶ErSiO膜的结构和电特性
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机译:射频磁控溅射沉积非晶态富硅氮化硅薄膜的机械和电性能
机译:使用不同溅射压力在柔性基板上沉积的抗碲化酰胺薄膜的微观结构和电性能
机译:目标材料对射频磁控溅射沉积未氢化非晶硅薄膜结构和电性能的影响
机译:射频反应磁控溅射在低温下沉积在硅上的压电氮化铝薄膜的声波器件特性
机译:磁控溅射沉积非晶碳膜的基体温度相关的微观结构和电子诱导的二次电子发射特性
机译:射频磁控溅射沉积ZnO薄膜的微观结构及其电学和光学性质的厚度依赖性