机译:面内指向性的微机械压电麦克风
Department of Electrical and Computer Engineering, The University of Texas at Austin, Austin, Texas 78712, USA;
lead compounds; micromachining; microphones; piezoelectric devices; piezoelectric thin films; 8550-n; 8585+j;
机译:面内指向性的微机械压电麦克风
机译:微机械平面压力梯度压电麦克风
机译:面外指向性的压电微机械麦克风
机译:基于面内极化PZT薄膜的新型压电麦克风
机译:微机械压电麦克风。
机译:面内指向性的微机械压电麦克风
机译:用于机动流理应用的微机械压电麦克风
机译:所有表面微机械麦克风