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机译:具有阻挡层的高性能La / B
Institute for Physics of Microstructures of RAS, 603950 Nizhny Novgorod, Russia;
boron compounds; lanthanum; mirrors; nanolithography; optical multilayers; photolithography; reflectivity; 4270-a; 4279Bh;
机译:<![CDATA [CR
机译:势垒层对Si / SiO
机译:具有阻挡层的高性能La / B_4C多层反射镜,适用于下一代光刻
机译:聚合物外涂层对OLED气体阻隔应用中SiN
机译:钼/硅多层镜中的应力演化,用于极端紫外光刻。
机译:用于超宽带光吸收的金属-绝缘体多层中的无序纳米孔图案:用于光刻的原子层沉积无高度可重复的大规模多层生长
机译:SiO