机译:硼掺杂对微加工硅悬臂梁老化的影响研究
Sowerby Research Centre, British Aerospace (Operations) Limited, FPC 267, P.O. Box 5, Filton, Bristol BS12 7QW, United Kingdom;
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:通过外延硅悬臂梁和块状硅证明质量的微机械压电加速度计
机译:高硼掺杂蚀刻停止技术,用于硅膜和悬臂的微加工和光机械微传感器应用
机译:先进的硅微机械悬臂,用于原子力显微镜数据存储。
机译:在体微机械加速度计中模拟掺硼硅的微结构曲率
机译:体微机械加速度计中掺硼硅微结构曲率的模拟
机译:未掺杂和掺硼氢化非晶硅中的氢扩散和微结构:IR和sIms研究。