机译:激光产生的Sn和SnO2等离子体产生的极紫外光的单色成像和角度分布测量
Osaka Univ, Inst Laser Engn, Suita, Osaka 5650871, Japan;
机译:从激光产生的等离子体源射出的Sn离子碎片的角度和能量分布,其激光功率密度在适用于极紫外光刻的范围内
机译:二维扩展对激光产生的Sn等离子体在13.5 nm带内极紫外发射的角度分布的影响
机译:极紫外光刻光源的激光产生锡等离子体中的带外辐射和等离子体参数的表征
机译:单色13.5 nm极紫外光源的激光产生的Sn基等离子体的动力学
机译:激光产生的Sn等离子体的主要13.5 nm带内极紫外发射区的动力学和操纵。
机译:极紫外光刻光源的激光产生的锡等离子体的电子密度和温度的时间分辨二维分布
机译:来自锡激光产生的等离子体的极端紫外(EUV)光的高空间分辨率成像板分析
机译:激光产生等离子体在高辐照度下散射激光的角分布。