机译:非晶金属,半导体和绝缘体中纳米孔的离子雕刻
Harvard School of Engineering and Applied Sciences, Cambridge, Massachusetts 02138, USA;
Department of Physics, Harvard University, Cambridge, Massachusetts 02138, USA;
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rnHarvard School of Engineering and Applied Sciences, Cambridge, Massachusetts 02138, USA Center for Nanoscale Systems, Harvard University, Cambridge, Massachusetts 02138, USA;
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