机译:通过原子层沉积精制的基于金属纳米粒子的应变传感器
Institut des Nanotechnologies de Lyon, Université de Lyon, INL UMR 5270, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
Institut des Nanotechnologies de Lyon, Université de Lyon, INL UMR 5270, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
Institut des Nanotechnologies de Lyon, Université de Lyon, INL UMR 5270, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
Institut des Nanotechnologies de Lyon, Université de Lyon, INL UMR 5270, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
MATEIS Laboratory, Université de Lyon, MATEIS UMR 5510, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
MATEIS Laboratory, Université de Lyon, MATEIS UMR 5510, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
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MATEIS Laboratory, Université de Lyon, MATEIS UMR 5510, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
MATEIS Laboratory, Université de Lyon, MATEIS UMR 5510, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
Institut des Nanotechnologies de Lyon, Université de Lyon, INL UMR 5270, CNRS, INSA de Lyon, Villeurbanne F-69621, France;
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机译:用原子层沉积晶体基质薄膜中金属纳米粒子的平面内和外平面电性能的研究
机译:原子层沉积Al2O3薄膜作为湿度阻挡涂层,用于基于纳米粒子的应变传感器
机译:基于ZnO装饰PVDF的柔性应变传感器的设计与制造原子层沉积
机译:通过选择性原子层沉积氧化物,氮化物和金属膜的自对准纳米级处理解决方案
机译:金属和电介质表面上的电感耦合氢等离子体辅助铜原子层沉积。
机译:基于层状YVO4发光的光学测温传感器:Ln3 +(Ln3 = NdSmEuDyHoErTmYb)通过原子层沉积制成的薄膜
机译:非晶态和纳米晶态金属涂层的化学气相沉积和原子层沉积:朝向多金属膜的沉积
机译:化学气相沉积法生长mos2原子层的应变和结构非均匀性。