机译:衍射光学元件的多掩模制造误差分析
School of Engineering and Physical Sciences, Heriot- Watt University, David Brewster Building, Riccarton, Edinburgh, EH14 4AS, UK;
diffraction gratings; diffractive optics; microlithography;
机译:多能级衍射光学元件制作误差分析及校正方法研究
机译:光刻照明系统中使用的衍射光学元件的制造误差分析
机译:扇出衍射光学元件,旨在提高对线性起伏深度误差的制造公差
机译:研究衍射光学元件的制造错误
机译:表面浮雕衍射光学元件或kinoform的设计和制造,并附有光学无热化的示例。
机译:高效耐制造误差的平面太赫兹衍射光学元件的计算设计框架
机译:组装误差对多层衍射光学元件衍射效率的影响