SU-8 photoresist cellular automaton lithography simulation modeling fast marching;
机译:SU-8厚光刻胶紫外光刻工艺的综合模拟
机译:SU-8厚光刻胶倾斜紫外光刻工艺的高效仿真系统
机译:SU-8负厚光刻胶的倾斜UV光刻建模,仿真和实验验证
机译:具有存储和计算效率的三维仿真系统,用于厚SU-8光刻胶的UV光刻
机译:精密准分子激光光刻技术,用于带有厚光刻胶的圆柱形基板。
机译:SU-8紫外光刻技术对预对准光纤束耦合器的微细加工
机译:厚SU-8光致抗蚀剂紫外线过程综合模拟