浅谈多晶硅生产中碳杂质的分布和去除

摘要

多晶硅企业生产中,从工业硅不可避免的引入碳杂质,在氯硅烷体系中以甲基取代基的形式体现,在氢气中以甲烷、一氧化碳或二氧化碳体现,最终,以代位碳(碳化硅)的形式体现。随着N型单晶硅的和半导体晶硅的发展,研究碳杂质的分布和去除已是多晶硅企业科技进步的重点。