一种应用于高粘度气体的科里奥利质量流量控制器的研究

摘要

质量流量计分为直接测量和间接测量或推导式测量和补偿式测量,广泛应用于各种气体质量流量测试场合。科里奥利质量流量计(Coriolis Mass Flow-CMF)采用直接测量的方法,其原理是流体在旋转体系中做直线运动时产生的科里奥力和流体的质量流量成正比。具有稳定度高、可靠性高、量程大、可直接测量管道内流体的质量,在半导体制造中常用来测量弥散性高粘度的流体[1]。